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機器訪問利用

FIB/SEM デュアルビームシステム

宮城県

FIB/SEM デュアルビームシステムの画像1
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型番：Helios NanoLabTM 600i

料金

￥19,239 〜 /時間 

※別途、サービス料がかかります。
※サービスには、システム利用および損害賠償保険が含まれます。
※取引条件によって、料金が変わります。

概要 ナノスケールの微細加工、観察、分析、透過電子顕微鏡用試料作製ができる。
FIB加工過程をSEMでリアルタイム観察、FIBビームとSEM電子ビームの同時照射が可能、自動でスライス加工とSEM画像取り込み（EBSD,EDS測定）を繰り返し、データの３次元構成が可能。TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製、試料室内でメッシュ等に固定が可能。
詳細・スペック ・ FIB加工過程をSEMにてリアルタイムで観察可能。
・ TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製が可能。
・ 自動機能にて、FIBスライス加工。
・ 同一視野での、SEM画像取得（EBSD,EDS測定含む）を繰り返す機能。
・ FIB：　Gaイオン、加速電圧：1～30ｋV、 イオン電流最大：50ｎA、　分解能：5nm,　デポジションガス：W,Pt
・ SEM：　加速電圧：0.1ｋV～30kV、最大ビーム電流：100ｎA、　分解能：0.9nm（15ｋＶ）
・ 2次電子検出、反射電子検出、環状STEM検出器、像分解能：1.2nm
・ EDSおよびEBSD元素の３次元マッピングデータによるスライス可視化機能
可能な実験例
用途例
備考 使用する消耗品（試薬等）は、別途実費分を負担していただきます。

＜消耗品等＞
Moメッシュ（2700円1枚）
Cuメッシュ（500円/枚）
ゲルサンプルケース（900円/個）
ピンタイプSEM試料台（100円/個）
キーワード FIB SEM DualBeam電子 顕微鏡 集束イオンビーム 走査顕微鏡
分野 材料工学

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