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訪問利用

FIB/SEM デュアルビームシステム

宮城県

型番:Helios NanoLabTM 600i

料金

¥19,239 /時間 

※別途、サービス料がかかります。
※サービスには、システム利用および損害賠償保険が含まれます。
※取引条件によって、料金が変わります。

概要

ナノスケールの微細加工、観察、分析、透過電子顕微鏡用試料作製ができる。
FIB加工過程をSEMでリアルタイム観察、FIBビームとSEM電子ビームの同時照射が可能、自動でスライス加工とSEM画像取り込み(EBSD,EDS測定)を繰り返し、データの3次元構成が可能。TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製、試料室内でメッシュ等に固定が可能。

詳細・スペック

・ FIB加工過程をSEMにてリアルタイムで観察可能。
・ TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製が可能。
・ 自動機能にて、FIBスライス加工。
・ 同一視野での、SEM画像取得(EBSD,EDS測定含む)を繰り返す機能。
・ FIB: Gaイオン、加速電圧:1~30kV、 イオン電流最大:50nA、 分解能:5nm, デポジションガス:W,Pt
・ SEM: 加速電圧:0.1kV~30kV、最大ビーム電流:100nA、 分解能:0.9nm(15kV)
・ 2次電子検出、反射電子検出、環状STEM検出器、像分解能:1.2nm
・ EDSおよびEBSD元素の3次元マッピングデータによるスライス可視化機能

可能な実験例

用途例

備考

使用する消耗品(試薬等)は、別途実費分を負担していただきます。

<消耗品等>
Moメッシュ(2700円1枚)
Cuメッシュ(500円/枚)
ゲルサンプルケース(900円/個)
ピンタイプSEM試料台(100円/個)

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