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訪問利用

多機能走査型X線電子分光分析装置

宮城県

型番:アルバック・ファイ PHI-5000VersaProbeⅡ-TSS

料金

¥9,178 /時間 

※サービスには、システム利用および損害賠償保険が含まれます。
※取引条件によって、料金が変わります。

概要

表面深さ~10nmから放出される光電子スペクトルを測定し、表面の組成ならびに化学結合状態を解析する。走査型マイクロフォーカスX線源で微小領域からの高感度な光電子スペクトルの分析が可能、絶縁物質試料は帯電中和して測定可能、右上図のトランスファーベッセルは、グローブボックスで作成した試料を大気非曝露で装置に導入可能。

詳細・スペック

・ 走査型X線源によりビーム径は、10μm~200μm の間で設定可能。
・ Scanning Xray Image のその場観察により、より正確、迅速な分析位置の決定が可能。
・ 低エネルギー電子とイオン同時照射により、絶縁物試料の表面電位を均一にする帯電中和方法を採用。
・ 測定視野内や試料台上の自動多点分析が可能。
・ 最小ビーム径: 10μm以下
・ 検出器: 16チャンネル
・ X線スキャン範囲: 1.4mm×1.4mm
・ イオン銃加速電圧: 0~5kV
・ 最高エネルギー分解能: 0.5eV以下

可能な実験例

用途例

備考

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