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機器訪問利用

サーマルクリーンチャンバー

宮城県

型番:日本エアーテック TCC-603523A4S3

料金

¥8,095 /時間 

※別途、サービス料がかかります。
※サービスには、システム利用および損害賠償保険が含まれます。
※取引条件によって、料金が変わります。

概要

温度変化による伸縮や位置精度を必要とする設備、微細測定機器などの設備にクリーンエアーを循環させ湿度制御し、設置場所による環境変動の影響を排除する。

詳細・スペック

用途
半導体製造、精密加工、精密測定器                         
仕様
・室内有効内面積:5100(W)×3350(D)×2230(H)
・照明・窓:UVカット仕様
・洗浄度:ISOクラス4(対象粒径0.3µm)以下
・吹出し速度:0.2m/sec
・風量:約220m3/min以上
・設定温度調節:23℃±2℃

可能な実験例

用途例

備考

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