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TEOSをHeガスによるバブリング法により供給し、チャンバー内でプラズマアシストによる分解反応を発生させ、O2ガスと反応させることで酸化膜を形成する装置です。
ウオークインチャンバー内の温度、湿度を独立に制御し、温湿度環境をプログラマブルに制御できる部屋です。 長時間に渡って一定の温湿度を保ったり、温湿度サイクルを印可する環境試験を行うことができます。
・製品/試作機などの周囲環境評価 ・エージング など
・モニター設置環境試験 ・機器の温度上昇試験 ・耐湿度試験 ・環境が人に及ぼす影響評価 などの性能試験や信頼性評価試験に利用できます。
3D-CADで設計した図面データから、光硬化型の樹脂をインクジェット方式によって射出・造形して短時間かつ容易にプロトタイプモデルを作製することができます。
・2種類の材料の組み合わせによる、色・柔らかさを変化させた造形 ・生体適合性材料での造形 など
・プロトタイプモデルの作成