同位体顕微鏡システム

詳細・スペック

詳細・スペック

●CAMECA社の超高質量分解能SIMS（Secondary Ionization Mass Spectrometer:二次イオン質量分析計）IMS-1270の技術を発展させ、物質中の同位元素の３次元分布をイメージング可能とした装置です。濃度1ppbまでの同位元素に対し横方向300nm・深さ方向10nmの空間分解能があります。また、500倍の濃度差をもつ同位元素において相対誤差0.5%の分析精度で同位体比分析可能です。

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