【東京】半導体実験ができる学校のラボ（産学連携先）

詳細・スペック

おすすめポイント

機器の持ち込み 可能
外部者の居室の有
ラボのWi-Fi利用不可
駐車場利用可能

広さ

利用可能人数

利用可能時間

契約形態

実験室　２部屋
クリーンルーム（クラス1000～10000）　2部屋

2-3人

平日（月～金）
9時〜17時

共同研究契約
受託研究契約

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実験設備

ドラフト（有機溶剤・酸・アルカリ）/クリーンルーム（クラス1000～10000）/除外装置/オーブン/ホットプレート/超音波洗浄器/RF/DCスパッタリング装置/電子ビーム蒸着装置/赤外線イメージ炉/マスクアライナー/スピンコーター/マスクレス露光装置/ドライエッチング装置/プラズマリアクター/SPM (走査型プローブ顕微鏡)/単波長自動エリプソメータ（632.8nm）/光学系実験装置一式（半導体レーザ、He-Neレーザ、除震台）/可視紫外分光光度計/プロファイラー

可能な実験例

・半導体
・成膜