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ドラフト(有機溶剤・酸・アルカリ)/クリーンルーム(クラス1000~10000)/除外装置/オーブン/ホットプレート/超音波洗浄器/RF/DCスパッタリング装置/電子ビーム蒸着装置/赤外線イメージ炉/マスクアライナー/スピンコーター/マスクレス露光装置/ドライエッチング装置/プラズマリアクター/SPM (走査型プローブ顕微鏡)/単波長自動エリプソメータ(632.8nm)/光学系実験装置一式(半導体レーザ、He-Neレーザ、除震台)/可視紫外分光光度計/プロファイラー
機器の持ち込み 可能
外部者の居室の有
ラボのWi-Fi利用不可
駐車場利用可能
・半導体
・成膜