【東京】半導体実験ができる学校のラボ（産学連携先）

概要

クリーンルーム（クラス1000～10000）や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。
#半導体 #成膜

実験設備: ドラフト（有機溶剤・酸・アルカリ）/クリーンルーム（クラス1000～10000）/除外装置/オーブン/ホットプレート/超音波洗浄器/RF/DCスパッタリング装置/電子ビーム蒸着装置/赤外線イメージ炉/マスクアライナー/スピンコーター/マスクレス露光装置/ドライエッチング装置/プラズマリアクター/SPM (走査型プローブ顕微鏡)/単波長自動エリプソメータ（632.8nm）/光学系実験装置一式（半導体レーザ、He-Neレーザ、除震台）/可視紫外分光光度計/プロファイラー
おすすめポイント: 機器の持ち込み可能
外部者の居室の有
ラボのWi-Fi利用不可
駐車場利用可能
可能な実験例: ・半導体
・成膜