コイルに高周波電流 (27.12MHz or 40.68MHz)を流すと、ガラス管内を軸方向に通る磁力線が発生します。すると電磁誘導で誘導電流が流れ、トーチ内の電子が加速されます。この電子が周囲の気体と衝突して次々とイオン化し、トーチ内にプラズマ(原子が電離した状態)が生成されます。このときプラズマ内の電子温度は1eV程度になるとみられており、高エネルギーの電子が存在しています。この電子によって解離、励起、電離、ぺニングイオン化(準安定状態のイオンによる、原子のイオン化)が起こります。ぺニングイオン化が生じると、相手イオンが少量でも効率よくイオン化されて電離度が高くなります。