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接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。
・微細加工の実態状況や不良分析 ・化合物の状態分析/評価 微小形状測定、表面粗さ測定 など
・室温、大気圧下での形状測定 ・接触または非接触測定
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