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【神奈川】MLS マスクレス露光装置

PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。

可能な実験例

・プリント版パターン成型
・微小溝加工
など

用途例

・試作基板の作成
・マイクロチャネル成型
など
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