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接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。 測定環境を真空に引いたり、加熱、冷却することがでます。 また、特殊なプローブを用意することにより、摩擦力や磁気マップなどを測定可能です。
・微細加工の実態状況や不良分析 ・化合物の状態分析/評価 ・微小形状測定、表面粗さ測定 など
・室温、大気圧下での形状測定 ・接触または非接触測定
測定チャンバー内を真空に引いたり、試料台を冷却、加熱して測定することが可能です。
