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Ic pin 神奈川県

走査型電子顕微鏡(SEM)SU8010

走査型電子顕微鏡(SEM)SU8010の画像1
  • Ic equipment model number 型番:日立ハイテク SU8010
  • Ic equipment spec 概要: 形態観察、元素分析
  • 詳細・スペック

    おすすめポイント
    本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。

    セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。
    利用可能時間
    備考
    平日9:30~16:30
    詳細はお問合せください。
    会員限定コンテンツ
    無料登録で料金など全ての情報を閲覧可能
    実験設備
    ●概略仕様
    加速電圧:0.1~30 kV
    電子銃:電界放出(コールドFE)型
    対物レンズ:セミインレンズ型
    検出器:Upper検出器(二次電子像、高角・低角度反射電子像)、Lower検出器(二次電子像)
    試料サイズ:(運用上)最大Φ 1 inch × H 15 mm

    ●メーカー仕様
    二次電子分解能:1.0nm (加速電圧15kV、WD=4mm)
            1.3nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm、リターディングモード)
    照射電圧:0.1kV~30kV
    リターディング電圧:最大-2.5kV
    倍率:低倍率モードx20~x2,000
       高倍率モードx100~x800,000
    電子銃:冷陰極電界放出形電子銃
    検出器:Lower / Upper 検出器
        SE/BSE信号可変方式(Upper)
    試料サイズ:100mm径(最大)
    画像データ保存:640x480、1,280x960、2,560x1,920、5,120x3,840
    到達真空度:試料室 7xE-4 Pa以下
          電子銃室 1xE-7 Pa以下(IP1)
               2xE-6 Pa以下(IP2)
               7xE-5 Pa以下(IP3)
    その他の設備
    付帯設備:EDS
    可能な実験例
    形態観察、元素分析

    Ic equipment price 目安単価:

    ¥???? /時間

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