走査型電子顕微鏡(SEM)SU8010

概要

形態観察、元素分析

詳細・スペック

実験設備: ●概略仕様
加速電圧：0.1~30 kV
電子銃：電界放出（コールドFE）型
対物レンズ：セミインレンズ型
検出器：Upper検出器（二次電子像、高角・低角度反射電子像）、Lower検出器（二次電子像）
試料サイズ：（運用上）最大Φ 1 inch × H 15 mm

●メーカー仕様
二次電子分解能：1.0nm （加速電圧15kV、WD＝4mm）
　　　　　　　　1.3nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、リターディングモード）
照射電圧：0.1kV～30kV
リターディング電圧：最大-2.5kV
倍率：低倍率モードx20～x2,000
　　　高倍率モードx100～x800,000
電子銃：冷陰極電界放出形電子銃
検出器：Lower / Upper 検出器
　　　　SE/BSE信号可変方式（Upper）
試料サイズ：100mm径（最大）
画像データ保存：640x480、1,280x960、2,560x1,920、5,120x3,840
到達真空度：試料室 7xE-4 Pa以下
　　　　　　電子銃室 1xE-7 Pa以下（IP1）
　　　　　　　　　　 2xE-6 Pa以下（IP2）
　　　　　　　　　　 7xE-5 Pa以下（IP3）
おすすめポイント: 本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。

セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。
その他の設備: 付帯設備：EDS
可能な実験例: 形態観察、元素分析