走査型電子顕微鏡(SEM)SU8010

詳細・スペック

実験設備

●概略仕様

加速電圧：0.1~30 kV

電子銃：電界放出（コールドFE）型

対物レンズ：セミインレンズ型

検出器：Upper検出器（二次電子像、高角・低角度反射電子像）、Lower検出器（二次電子像）

試料サイズ：（運用上）最大Φ 1 inch × H 15 mm

●メーカー仕様

二次電子分解能：1.0nm （加速電圧15kV、WD＝4mm）

　　　　　　　　1.3nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、リターディングモード）

照射電圧：0.1kV～30kV

リターディング電圧：最大-2.5kV

倍率：低倍率モードx20～x2,000

　　　高倍率モードx100～x800,000

電子銃：冷陰極電界放出形電子銃

検出器：Lower / Upper 検出器

　　　　SE/BSE信号可変方式（Upper）

試料サイズ：100mm径（最大）

画像データ保存：640x480、1,280x960、2,560x1,920、5,120x3,840

到達真空度：試料室 7xE-4 Pa以下

　　　　　　電子銃室 1xE-7 Pa以下（IP1）

　　　　　　　　　　 2xE-6 Pa以下（IP2）

　　　　　　　　　　 7xE-5 Pa以下（IP3）

おすすめポイント

本装置は、冷陰極電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。

セミインレンズタイプでUpper/Lowerの2つの検出器を搭載しており二次電子、反射電子の同時観察やリターディング機能により低照射電圧超高分解能観察が可能です。

その他の設備

付帯設備：EDS

可能な実験例

形態観察、元素分析

利用可能時間

備考

平日9:30~16:30

詳細はお問合せください。

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