走査型電子顕微鏡(SEM)JSM-7001F

概要

形態観察、元素分析、結晶方位解析

詳細・スペック

実験設備: ●概略仕様
加速電圧：0.5~30 kV
電子銃：ショットキー型
対物レンズ：アウトレンズ型
検出器：二次電子検出器、反射電子検出器
試料サイズ：（運用上）最大Φ26ｍｍ×H15mm

●メーカー仕様
保証分解能：1.2nm(30kV)、3.0nm(1kV)
倍率：x 10～x 1,000,000
加速電圧：0.5kV～30 kV
試料照射電流：数pA～200 nA
電子銃：インレンズサーマルFEG
電子銃軸合わせ：完全自動(機械式調整不要）
対物レンズ：スーパーコニカルレンズ
対物レンズ絞り：クリックストップ式4段切り換え
検出器：二次電子検出器、反射電子検出器
ジェントルビーム：組込み
試料室：最大200mm径試料対応大形試料室。試料高さは15mm程度まで
試料ステージ：大型ユーセントリック試料ステージ
デジタル画像：1,280 x 960、2,560 x 1,920、5,120 x 3,840（画素）
マルチライブ像：組込み
排気系：SIPx 2、DP x 2、RP x 1
おすすめポイント: 本装置は、インレンズサーマル電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。低加速電圧時でも効率よく電流が得られるため、高分解能観察が可能です。二次電子検出器以外に反射電子検出器を備えており、試料表面の形状観察だけでなく、試料組成に関する情報も得られます。EDS、EBSDが付帯しており、元素分析や微小構造解析が行えます。
その他の設備: 付帯設備：EDS、EBSD
可能な実験例: 形態観察、元素分析、結晶方位解析