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電子ビーム蒸着装置(ULVAC)/QSSPC(擬定常状態光伝導度測定装置 (Sinton WCT-120)/パルスレーザー堆積装置
★機器の持ち込み可能
★廃液対応可能
★試作→物性→性能の評価が一カ所で完結!
レーザー堆積薄膜作製実験/真空蒸着(Au, Al)/シリコンウエアのQSSPC(少数キャリアライフタイム)測定/太陽電池特性測定(5×5 cm²以内)/Hall測定