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東京都
クリーンルーム（クラス1000～10000）や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。
機器の持ち込み 可能
外部者の居室の有
ラボのWi-Fi利用不可
駐車場利用可能
・半導体
・成膜
