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10000倍程度まで拡大可能な電子顕微鏡（SEM）で、表面形状観察を行います。元素組成の定性・定量分析（EDX）が可能で、金属・電気部品、食品・医薬品などの材料確認や異物・不良解析に利用可能です。
薄膜・金属等の材料研究、細胞や組織などの生物サンプルの解析など
表面形状測定
試料の表面形状、高さ・粗さの測定
