物理気相成長（PVD）、化学気相成長（CVD）、プラズマエッチング、電子ビーム、露光プロセスなどの半導体製造・薄膜加工や検査工程に関する数値計算システムの導入支援を行います。当事業では商用ツールではなく大学の研究室等で開発されているシステムの産学連携による活用を想定しています。海外大学・研究機...
・表面波プラズマの電磁場解析
半導体製造プロセスで多く用いられるのは容量結合型／誘導結合型放電という方式で、商用シミュレーションツールの応用例も豊富ですが、高密度のプラズマを生成する表面波モードのマイクロ波励起プラズマに対応した商用ツールは少数です。一方、例えば金属機械部品の摩擦低減のためのダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜手法として表面波プラズマは注目されていて、シミュレーションの研究もされています。このようなシミュレーションシステムの実用化を行います。
・デバイス微細加工・成膜時の形状進展の解析
形状進展シミュレーションは歴史の長い商用ツールがありますが、ウエットエッチングや化学的気相反応(CVD)など個々の加工プロセスについて物理・化学モデルが十分に備わっているとは言えません。また、大手半導体メーカーが生産するプロセッサやメモリ向けではなく、例えばマイクロLED作製のための窒化ガリウム(GaN)の成膜・加工などの用途では応用例が少なく、大手ベンダの商用ツールでは対応が困難です。上記のようなプロセスや用途に特化した形状進展シミュレーションの実現します。
・結晶の液相成長の解析
液相成長による単結晶材料の製造は、半導体向けのシリコンウエハを始めとして日本の得意分野であり、結晶成長過程の数値シミュレーションの研究も盛んに行われてきましたが、商用ツールは少数です。一方で単結晶材料開発の研究は近年も盛んであり、大学発ベンチャーによる事業化も目立ちます。液相成長は長時間を要するため、シミュレーションによるプロセス最適化・生産効率の向上を実現します。
接触角、表面張力、表面自由エネルギーの受託測定サービス
ガラス（自動車、オートバイ、ヘルメット）、プラスチック（船舶ボディ、レインコート）、住宅用建材の開発用途のはっ水性評価。
スマーフォン表面の防汚、防油対策の評価用途。
自動車用インパネ、カーナビ表面の防汚性評価用途。
表面を人工的にはっ水構造にしたサンプルの濡れ性確認。
自然界に存在する材質（蓮の葉や里芋の葉など）のはっ水の評価・観察。
レインコートや傘の材質の研究開発用途。
防犯カメラの樹脂カバーの撥水、撥油特性評価用途。
ガラス（自動車、オートバイ、ヘルメット）、プラスチック（船舶ボディ、レインコート）、住宅用建材の開発用途のはっ水性評価。
レインコートや傘の材質の研究開発用途。
被接着材料の濡れ性評価用途。
接着剤自体の濡れ拡がり観察用途。
界面活性剤の研究開発、品質管理。
インク、塗料の特性分析、劣化試験。
アルコール飲料の表面張力測定。
コーティング液、溶剤の品質管理。
ウェットコート用最適条件出し用途。
医療用カプセル開発用途。
殺虫剤の研究開発用途。
万年筆の描き心地の評価。
液相同士（精製水、油）の表面張力測定。
シリコーン系および炭化水素系界面活性剤との比較。
接着剤自体の表面自由エネルギー測定。
接着力分析用途での表面自由エネルギーの成分解析。
大気圧プラズマ表面改質後の表面自由エネルギー解析。
ウェット洗浄後の表面自由エネルギー成分分析用途。
