核磁気共鳴法(NMR)は、磁場中での原子核の共鳴現象を利用して、原子レベルの化学構造や分子運動性を解析できる手法です。 試料を溶媒に溶かすことなく測定するため、固体状態そのままの構造情報を得られます。
SEM(走査型電子顕微鏡)にEDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
化合物の同定・定量分析や、結晶構造の解析を行うことができます。
半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。
・薄膜の反射率測定
・薄膜膜厚測定
・液体含有物の粒径測定
・ゲルの空孔分布
・BB法
・PB法
・Inplane測定
など
・残留応力測定
・結晶成分分析
など
ガス状化合物の元素・質量分析に活用できます。ガス状試料の化学的特性を容易に分析することができるので、化学素材・中間素材製品などの化学的な分析・評価に活用できます。
・ガス状成分の分析
など
・化学素材、バイオ素材などの分析・評価
液状化合物の元素・質量分析に活用できます。液体試料の化学的特性を容易に分析することができるので、化学素材・中間素材製品などの化学的な分析・評価に活用できます。
・溶液成分の分析
など
・化学素材、バイオ素材などの分析・評価
接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。 測定環境を真空に引いたり、加熱、冷却することがでます。 また、特殊なプローブを用意することにより、摩擦力や磁気マップなどを測定可能です。
・微細加工の実態状況や不良分析
・化合物の状態分析/評価
・微小形状測定、表面粗さ測定
など
・室温、大気圧下での形状測定
・接触または非接触測定
測定チャンバー内を真空に引いたり、試料台を冷却、加熱して測定することが可能です。
接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。
・微細加工の実態状況や不良分析
・化合物の状態分析/評価
微小形状測定、表面粗さ測定
など
・室温、大気圧下での形状測定
・接触または非接触測定