形態観察、元素分析、結晶方位解析
本装置は、インレンズサーマル電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。低加速電圧時でも効率よく電流が得られるため、高分解能観察が可能です。二次電子検出器以外に反射電子検出器を備えており、試料表面の形状観察だけでなく、試料組成に関する情報も得られます。EDS、EBSDが付帯しており、元素分析や微小構造解析が行えます。
形態観察、元素分析、結晶方位解析
示差走査熱量測定(測定試料と基準物質との間の熱量の差を計測し、融点やガラス転移点などを測定)します。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
液体の移動相をポンプなどで加圧してカラムを通過させ、サンプルを固定相及び移動相との相互作用(吸着、分配、イオン交換)の差を利用して、高性能に分離して検出する装置です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
液体試料中の元素の定性分析・定量分析固体試料中の元素の定量分析を行う装置です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
気体および液体の成分分析を行います。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
工業材料のビッカース硬度測定に使う機械です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
薄膜(はくまく)形成装置の一つで、半導体の表面に薄い膜を堆積する装置です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
プラズマを利用したガスによって加工する方法をドライエッチングと呼び、半導体に精密な凹凸を形成することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。