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検索結果:機器訪問利用カテゴリ「薄膜測定」(1件)

    • Ic pin 神奈川県
    • 機器訪問利用

    【神奈川】XRD 多目的X線回折装置

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    半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。

    可能な実験例

    ・薄膜の反射率測定
    ・薄膜膜厚測定
    ・液体含有物の粒径測定
    ・ゲルの空孔分布
    ・BB法
    ・PB法
    ・Inplane測定
    など

    用途例

    ・残留応力測定
    ・結晶成分分析
    など

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