〇レジストのパターン形成の観察
露光、現像後の半導体のパターンを観察することができます。
〇複合材料(樹脂)の断面の観察
フィラーや強化繊維などを樹脂に分散させた際に、断面観察により分散状態を観察することができます。
〇電極断面の観察
LEDの金属電極断面について、低加速電圧で反射電子像を観察することにより、金属薄膜の結晶の状態を観察することができます。
〇金属材料の破損原因の分析
金属材料が破損した際に、原因を分析する1つの手段として、破断面の状態を観察し、原因を分析することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。