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検索結果：機器訪問利用カテゴリ「露光」（2件）

- 神奈川県
【神奈川】MLS マスクレス露光装置

PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。

可能な実験例

・プリント版パターン成型
・微小溝加工
など

用途例

・試作基板の作成
・マイクロチャネル成型
など
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- 茨城県
走査型電子顕微鏡(SEM)

電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察出来る装置です。

可能な実験例

〇レジストのパターン形成の観察
露光、現像後の半導体のパターンを観察することができます。
〇複合材料(樹脂)の断面の観察
フィラーや強化繊維などを樹脂に分散させた際に、断面観察により分散状態を観察することができます。
〇電極断面の観察
LEDの金属電極断面について、低加速電圧で反射電子像を観察することにより、金属薄膜の結晶の状態を観察することができます。
〇金属材料の破損原因の分析
金属材料が破損した際に、原因を分析する1つの手段として、破断面の状態を観察し、原因を分析することができます。

※組織により上記実験ができない場合がございます。
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【神奈川】MLS マスクレス露光装置

可能な実験例

用途例

走査型電子顕微鏡(SEM)

可能な実験例

〇レジストのパターン形成の観察

〇複合材料(樹脂)の断面の観察

〇電極断面の観察

〇金属材料の破損原因の分析