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SPM-E-sweep 走査型プローブ顕微鏡 (環境制御型SPM)

神奈川県

型番:E-sweep

料金

¥2,700 /時間 

※別途、サービス料がかかります。
※サービスには、システム利用および損害賠償保険が含まれます。
※取引条件によって、料金が変わります。

概要

接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。 測定環境を真空に引いたり、加熱、冷却することがでます。 また、特殊なプローブを用意することにより、摩擦力や磁気マップなどを測定可能です。

詳細・スペック

XY150㎛ステージ(Z5㎛)またはXY20㎛ステージ(Z1.5㎛)をセレクト。
分解能 : 水平0.2nm、垂直0.01nm
資料サイズ : 最大φ25mm
      厚み10mm未満
加熱 : R.T~300℃
冷却 : -120℃ (Best effort)

可能な実験例

・微細加工の実態状況や不良分析
・化合物の状態分析/評価
・微小形状測定、表面粗さ測定
など

用途例

・室温、大気圧下での形状測定
・接触または非接触測定

測定チャンバー内を真空に引いたり、試料台を冷却、加熱して測定することが可能です。

備考

・立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)
プローブ : 光てこ 3,500\/1本(参考価格,センター在庫品融通)
       光てこプローブは、利用者所有品の持ち込み利用可能です。

・MFM測定には専用プローブが必要です(常備なし)。

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