【神奈川】SPM-E-sweep 走査型プローブ顕微鏡 (環境制御型SPM)

詳細・スペック

利用可能時間

備考

平日 9:30～16:30（年末年始や臨時休業を除く）

・立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)
プローブ : 光てこ 3,500\/1本(参考価格,センター在庫品融通)
　　　　　　 光てこプローブは、利用者所有品の持ち込み利用可能です。

・MFM測定には専用プローブが必要です（常備なし）。

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実験設備

SPM-E-sweep 走査型プローブ顕微鏡 (環境制御型SPM)

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

XY150㎛ステージ(Z5㎛)またはXY20㎛ステージ(Z1.5㎛)をセレクト。
分解能 : 水平0.2nm、垂直0.01nm
資料サイズ : 最大φ25mm
　　　　　　厚み10mm未満
加熱 : R.T～300℃
冷却 : -120℃ (Best effort)

可能な実験例

・微細加工の実態状況や不良分析
・化合物の状態分析/評価
・微小形状測定、表面粗さ測定
など

用途例

・室温、大気圧下での形状測定
・接触または非接触測定

測定チャンバー内を真空に引いたり、試料台を冷却、加熱して測定することが可能です。