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機器訪問利用

Ic pin 神奈川県

【神奈川】MLS マスクレス露光装置

【神奈川】MLS マスクレス露光装置の画像1
  • Ic equipment model number 型番:DL-1000GC/MS
  • Ic equipment spec 概要:PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。 半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。
  • #リソグラフィ #露光機 #マスクレス

    詳細・スペック

    利用可能時間
    備考
    平日 9:30~16:30(年末年始や臨時休業を除く)
    立会料 : 1,500\/1時間あたり
    (立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

    薬液については利用者の持込/持帰りとなります
    会員限定コンテンツ
    無料登録で料金など全ての情報を閲覧可能
    実験設備
    MLS マスクレス露光装置
    その他の設備
    駐車場/Wi-Fi
    詳細・スペック
    露光パワー : 1W/㎠以上
    重ね合わせ制度 : ±1㎛以内
    位置決め精度 : ±0.1㎛(内臓スケール繰返)
    最高処理能力 : 50m㎡/min 以上
    露光基板サイズ4インチ以下

    利用する薬液は持ち込み、持ち帰りとなります。
    bitmapコンバーター あり。
    DXFコンバーター あり。
    コーターあり。
    可能な実験例
    ・プリント版パターン成型
    ・微小溝加工
    など
    用途例
    ・試作基板の作成
    ・マイクロチャネル成型
    など

    Ic equipment price 目安単価:

    ¥???? /時間

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    • サービス料には、システム利用料金および損害賠償保険が含まれます。
    • 取引条件によって、料金が変わります。
    • 現在サービス内容見直しのため
    • 機器訪問利用の利用相談の受付を一時停止しています
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