【神奈川】MLS マスクレス露光装置

詳細・スペック

実験設備

MLS マスクレス露光装置

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

露光パワー : 1W/㎠以上

重ね合わせ制度 : ±1㎛以内

位置決め精度 : ±0.1㎛(内臓ｽｹｰﾙ繰返)

最高処理能力 : 50m㎡/min 以上

露光基板サイズ4インチ以下

利用する薬液は持ち込み、持ち帰りとなります。

bitmapコンバーター あり。

DXFコンバーター あり。

コーターあり。

可能な実験例

・プリント版パターン成型

・微小溝加工

など

利用可能時間

備考

平日 9:30～16:30（年末年始や臨時休業を除く）

立会料 : 1,500\/1時間あたり

(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

薬液については利用者の持込/持帰りとなります

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