【神奈川】SPM-E-sweep 走査型プローブ顕微鏡 (環境制御型SPM)

詳細・スペック

実験設備

SPM-E-sweep 走査型プローブ顕微鏡 (環境制御型SPM)

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

XY150㎛ステージ(Z5㎛)またはXY20㎛ステージ(Z1.5㎛)をセレクト。

分解能 : 水平0.2nm、垂直0.01nm

資料サイズ : 最大φ25mm

　　　　　　厚み10mm未満

加熱 : R.T～300℃

冷却 : -120℃ (Best effort)

可能な実験例

・微細加工の実態状況や不良分析

・化合物の状態分析/評価

・微小形状測定、表面粗さ測定

など

利用可能時間

備考

＃＃ ＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

＃＃＃＃ ＃ ＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

＃＃＃＃ ＃ ＃＃＃ ＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

　　　　　　 ＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃＃

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