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【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡
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【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡
型番:JIB4601F EDS(Oxford) EBSD(Oxford)
概要:電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。
#SEM
#FIB
#EDS
#EBSD
詳細・スペック
利用可能時間
備考
平日 9:30~16:30(年末年始や臨時休業を除く)
立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)
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実験設備
FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡
その他の設備
駐車場/Wi-Fi
詳細・スペック
FIB イオン源 : Ga液体イオン源
倍率 : ×30,×100~300,000
分解能 : 5nm(30kV時)
SEM
倍率 : ×20~×1,000,000
分解能 : 1.2nm(1kV時GB-mode)
1.0nm(15kV時)
加工形状 : 矩形、ライン、スポット
オプション
EDS
EBSD
可能な実験例
・SEM画像観察
・サンプルの電子ビーム加工
・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析
・EBSD結晶構造解析
用途例
・表面観察
・表面加工
目安単価:
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