【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

概要

電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。
#SEM #FIB #EDS #EBSD

詳細・スペック

実験設備

FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

FIB イオン源 : Ga液体イオン源
倍率 : ×30,×100～300,000
分解能 : 5nm(30kV時)

SEM
倍率 : ×20～×1,000,000
分解能 : 1.2nm(1kV時GB-mode)
1.0nm(15kV時)
加工形状 : 矩形、ライン、スポット

オプション
EDS
EBSD

可能な実験例

・SEM画像観察
・サンプルの電子ビーム加工
・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析
・EBSD結晶構造解析

場所・アクセス

利用可能時間

備考

川崎市多摩区三田2-3227 明治大学地域産学連携研究センター

平日 9:30～16:30（年末年始や臨時休業を除く）

立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

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