レンタルラボ
+
バイオ
BSL2 (P2)
BSL1
動物実験室
その他
化学
委託
臨床・ヒト
動物・マウス
細胞・その他
機器訪問利用
産学連携
ご希望の設備/ラボが 見つからない場合は、 こちらからご要望を お聞かせください
形態観察、元素分析、結晶方位解析
本装置は、インレンズサーマル電界放出形電子銃を装備した走査型電子顕微鏡です。低加速電圧時でも効率よく電流が得られるため、高分解能観察が可能です。二次電子検出器以外に反射電子検出器を備えており、試料表面の形状観察だけでなく、試料組成に関する情報も得られます。EDS、EBSDが付帯しており、元素分析や微小構造解析が行えます。
電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。
・SEM画像観察 ・サンプルの電子ビーム加工 ・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析 ・EBSD結晶構造解析
・表面観察 ・表面加工
