【神奈川】MLS マスクレス露光装置

詳細・スペック

実験設備

MLS マスクレス露光装置

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

露光パワー : 1W/㎠以上
重ね合わせ制度 : ±1㎛以内
位置決め精度 : ±0.1㎛(内臓ｽｹｰﾙ繰返)
最高処理能力 : 50m㎡/min 以上
露光基板サイズ4インチ以下

利用する薬液は持ち込み、持ち帰りとなります。
bitmapコンバーター あり。
DXFコンバーター あり。
コーターあり。

可能な実験例

・プリント版パターン成型
・微小溝加工
など

場所・アクセス

利用可能時間

備考

川崎市多摩区三田2-3227 明治大学地域産学連携研究センター

平日 9:30～16:30（年末年始や臨時休業を除く）

立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

薬液については利用者の持込/持帰りとなります

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