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走査プローブ顕微鏡(SPM、AFM)
最大測定範囲: 20μm四方(20μmスキャナ使用時)または100μm四方(100μmスキャナ使用時)
最大測定高さ: 1.5μm(20μmスキャナ使用時)又は20μm(100μmスキャナ使用時)
測定条件:大気中、温度コントロール無し
測定モード:AFMモード(コンタクトモード)、DFMモード(タッピングモード)
可能な測定:表面形状、位相観察、フォースカーブ、摩擦力、吸着力、電流計測、磁気力(要対応カンチレバー)
走査プローブ顕微鏡(SPM、AFM)は、先端の尖った探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面の微細な形状や性質を観察できる顕微鏡の一種です。光学顕微鏡や電子顕微鏡と異なり、ビームやレンズを使用しませんが、一定の条件と試料に対して原子・分子レベルの分解能を持ち、透過型電子顕微鏡に並ぶ拡大能力を持ちます。
表面形状測定、表面物性測定