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分解能:粒子像:0.23nm 格子像:0.1nm
加速電圧:100,120, 200kV
電子銃:エミッター(ZrO/W(100)
倍率:×50~1,500,000
傾斜角:X/Y ±35/±30°
EDS:エネルギー分散形X線分析装置
電子顕微鏡は、光の代わりに電子(電子線)をあてて拡大する顕微鏡のことです。観察物質の構造や構成成分の違いにより電子線の透過能が異なるので、場所による透過電子の密度の違いを透過顕微鏡像として得ます。透過型電子顕微鏡では、極薄い試料を用いますが、数十万倍にも拡大した像を得ることができます。さらに、原子の周期的な配列に対応した回折現象を利用して、電子回折像が得られます。これは、物質(試料)の性質、特に結晶構造や格子欠陥に関わる重要な情報です。
試料作製する機器としては、下記の装置があります。
イオンスライサー(JEOL製)EM-09100IS 金属、半導体等の薄片化装置
ウルトラミクロトーム(Leica製)UC7,FC7 高分子、生物、軟金属の薄片化装置
形態観察、結晶構造解析、元素分析