クリーンルーム(クラス1000~10000)や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。
機器の持ち込み 可能
外部者の居室の有
ラボのWi-Fi利用不可
駐車場利用可能
・半導体
・成膜
電子イメージング
例)ラット大脳皮質初代細胞のを3次元培養したスフェロイド(細胞凝集体)を観察。更に3D-SIM超解像度イメージングシステムによる解析結果と合わせることにより、スフェロイドの実際の3次元構造を確認。