生態由来のバイオ分子のもつ「自己組織化」「複合化」「分子認識」といった特性を生かした物質生産技術を開発しています。資源の有効利用、省エネルギー、環境にやさしいものづくりなど、化学・バイオ技術に対する社会的要請に応える研究開発を目指しています。
■企業等との連携可能テーマ
・各種乳化・分散技術を利⽤した⾷品および化粧品向けコロイド分散系の作製と特性評価（粒径分布、安定性など）
・生体分子を基盤とした微粒子材料、ゲル素材の作製と機能成分のカプセル化、分散化技術の開発
・酵素反応を利用した機能性分子の合成、製造技術の開発
■技術の用途
優れた機能を有する⾷品素材、化粧品素材、医⽤材料の開発ほか、バイオマス資源の有効利用や廃棄物のリサイクル技術、⾼効率な分離技術を応用したバイオ生産プロセスの開発に向けて基礎から研究を行っています。
物理気相成長（PVD）、化学気相成長（CVD）、プラズマエッチング、電子ビーム、露光プロセスなどの半導体製造・薄膜加工や検査工程に関する数値計算システムの導入支援を行います。当事業では商用ツールではなく大学の研究室等で開発されているシステムの産学連携による活用を想定しています。海外大学・研究機...
・表面波プラズマの電磁場解析
半導体製造プロセスで多く用いられるのは容量結合型／誘導結合型放電という方式で、商用シミュレーションツールの応用例も豊富ですが、高密度のプラズマを生成する表面波モードのマイクロ波励起プラズマに対応した商用ツールは少数です。一方、例えば金属機械部品の摩擦低減のためのダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜手法として表面波プラズマは注目されていて、シミュレーションの研究もされています。このようなシミュレーションシステムの実用化を行います。
・デバイス微細加工・成膜時の形状進展の解析
形状進展シミュレーションは歴史の長い商用ツールがありますが、ウエットエッチングや化学的気相反応(CVD)など個々の加工プロセスについて物理・化学モデルが十分に備わっているとは言えません。また、大手半導体メーカーが生産するプロセッサやメモリ向けではなく、例えばマイクロLED作製のための窒化ガリウム(GaN)の成膜・加工などの用途では応用例が少なく、大手ベンダの商用ツールでは対応が困難です。上記のようなプロセスや用途に特化した形状進展シミュレーションの実現します。
・結晶の液相成長の解析
液相成長による単結晶材料の製造は、半導体向けのシリコンウエハを始めとして日本の得意分野であり、結晶成長過程の数値シミュレーションの研究も盛んに行われてきましたが、商用ツールは少数です。一方で単結晶材料開発の研究は近年も盛んであり、大学発ベンチャーによる事業化も目立ちます。液相成長は長時間を要するため、シミュレーションによるプロセス最適化・生産効率の向上を実現します。
