検索結果:機器訪問利用カテゴリ「コーティング」(3件)
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神奈川県
機器訪問利用
導電性のない電子顕微鏡試料のチャージアップ防止のためのコーティング、親水化処理、イオンエッチング
おすすめ
導電性のない試料を電子顕微鏡で観察する際に、何もコーティングしていないと望ましい像が得られなくなる場合があります。(チャージアップ)
この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングによってコートすることによりチャージアップを防ぐことを可能にします。
また、試料を乗せる基板の親水化処理、イオンエッチングも行うことができます。
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東京都
機器訪問利用
X線を試料に照射した時に発生する蛍光X線のエネルギーや強度から、物質の成分元素や構成比率を分析できる装置です。
可能な実験例
○合金めっき膜圧の測定
合金めっきをした試料材料を測定し各成分のスペクトルを分析することによって密度、付着量、膜厚を求めることができます。
○基板の電極部周辺の面分析
基板の電極部分を測定し元素マッピングすることによって金属の分布を知ることができます。
○岩石の成分分析
岩石粉体状に砕き測定することで岩石に含まれる成分の種類と量などを分析することができます
○廃液の成分分析
廃液を液体のまま測定することによって、液中に含まれる成分や量などを分析することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
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茨城県
機器訪問利用
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。
可能な実験例
◯物質の構成元素の定量分析
物質を構成する元素の強度比から、定量分析が可能です。電子顕微鏡観察面での分析であり、試料全体の定量分析ではないことに注意が必要です。また標準試料を用いることによって、定量の精度が向上します。
◯物質の構成元素の定性分析
検出したX線の波長からどのような元素が含まれているかわかり、未知物質の組成推定に用いることができます。検出限界は 程度で、0.001質量%(重元素の場合)で、微量成分の分析には向きません。
◯相分離構造のマッピング分析
観察面の各位置から検出された特性X線波長を各元素ごとに色分けすることにより、元素マッピング分析が可能です。合金、磁石、鉱石などの相分離構造観察などに活用されます。
◯デバイスの縦方向組成分析
半導体などのデバイス断面を観察することで、各層を構成する元素組成がわかります。デバイス構成によっては層膜厚が分解能以下であるため、各層の組成ずれや層間の元素拡散の度合いが定性的にわかります。
◯汚染、不純物の組成特定
製品の不良解析や原因推定の際に有効な手段です。例えば不良があった半導体製品の表面に意図せず付着しているドロップレットの構造、組成が分かると、原因特定に役立ちます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。