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様々な形状の基盤への基板前処理（洗浄） ⇒ ディップコーター ⇒ 乾燥といった一連の工程（部分工程）を利用できる施設を提供しています。ディップコーティング、スピンコーティング、UVオゾン洗浄表面改質装置などを完備しています。
・機器の持ち込み可 ・廃液処理可
薄膜コーティング 薄膜作製前処理 薄膜測定 薄膜試作
