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検索結果:機器訪問利用カテゴリ「D」(61件)

    • Ic pin 茨城県
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    エリプソメーター

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    物質表面での光の入反射光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の厚さ、屈折率や吸収係数などの光学定数、または、バルク材の光学定数を解析することができる装置です。非接触・非破壊にて測定が行えます。(http://www.5lab.co.jp/products_MARY.htm)

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    固体NMR(核磁気共鳴)装置

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    核磁気共鳴法(NMR)は、磁場中での原子核の共鳴現象を利用して、原子レベルの化学構造や分子運動性を解析できる手法です。 試料を溶媒に溶かすことなく測定するため、固体状態そのままの構造情報を得られます。

    可能な実験例

    〇多孔質物質の構造解析

    29Siを測定することで、構造を推定することができます。

    〇ペプチド・ポリペプチドの構造解析

    13Cを測定し、構造を推定することができます。

    〇ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の評価

    13Cについてsp3とsp2の割合を解析することで、DLCの評価を行うことができます。

    〇高分子材料における結晶化度の定量

    DD/MAS 法にて得たスペクトルを用いることで、結晶相の炭素、非晶相の炭素の割合を比較することで、結晶化度を測定することができます。


    ※組織により上記実験ができない場合がございます。

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    走査型電子顕微鏡(SEM)

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    電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子(後方散乱電子、BSE)、透過電子、X線、カソードルミネッセンス(蛍光)、内部起電力等を検出する事で対象を観察出来る装置です。

    可能な実験例

    〇レジストのパターン形成の観察

    露光、現像後の半導体のパターンを観察することができます。

    〇複合材料(樹脂)の断面の観察

    フィラーや強化繊維などを樹脂に分散させた際に、断面観察により分散状態を観察することができます。

    〇電極断面の観察

    LEDの金属電極断面について、低加速電圧で反射電子像を観察することにより、金属薄膜の結晶の状態を観察することができます。

    〇金属材料の破損原因の分析

    金属材料が破損した際に、原因を分析する1つの手段として、破断面の状態を観察し、原因を分析することができます。

    ※組織により上記実験ができない場合がございます。

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    EPMA(電子線マイクロアナライザー装置)

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    電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。

    可能な実験例

    ◯物質の構成元素の定量分析

    物質を構成する元素の強度比から、定量分析が可能です。電子顕微鏡観察面での分析であり、試料全体の定量分析ではないことに注意が必要です。また標準試料を用いることによって、定量の精度が向上します。

    ◯物質の構成元素の定性分析

    検出したX線の波長からどのような元素が含まれているかわかり、未知物質の組成推定に用いることができます。検出限界は 程度で、0.001質量%(重元素の場合)で、微量成分の分析には向きません。

    ◯相分離構造のマッピング分析

    観察面の各位置から検出された特性X線波長を各元素ごとに色分けすることにより、元素マッピング分析が可能です。合金、磁石、鉱石などの相分離構造観察などに活用されます。

    ◯デバイスの縦方向組成分析

    半導体などのデバイス断面を観察することで、各層を構成する元素組成がわかります。デバイス構成によっては層膜厚が分解能以下であるため、各層の組成ずれや層間の元素拡散の度合いが定性的にわかります。

    ◯汚染、不純物の組成特定

    製品の不良解析や原因推定の際に有効な手段です。例えば不良があった半導体製品の表面に意図せず付着しているドロップレットの構造、組成が分かると、原因特定に役立ちます。


    ※組織により上記実験ができない場合がございます。

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    【神奈川】BIC (Built In Chamber) 恒温恒湿槽

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    ウオークインチャンバー内の温度、湿度を独立に制御し、温湿度環境をプログラマブルに制御できる部屋です。 長時間に渡って一定の温湿度を保ったり、温湿度サイクルを印可する環境試験を行うことができます。

    可能な実験例

    ・製品/試作機などの周囲環境評価
    ・エージング
    など

    用途例

    ・モニター設置環境試験
    ・機器の温度上昇試験
    ・耐湿度試験
    ・環境が人に及ぼす影響評価
    などの性能試験や信頼性評価試験に利用できます。

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    【神奈川】MLS マスクレス露光装置

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    PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。 半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。

    可能な実験例

    ・プリント版パターン成型
    ・微小溝加工
    など

    用途例

    ・試作基板の作成
    ・マイクロチャネル成型
    など

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    【神奈川】SEM 走査型電子顕微鏡

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    電子顕微鏡として各種素材の表面を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、CL(カソードルミネッセンス解析)を行うことができます。

    可能な実験例

    ・SEM画像観察
    ・EDS元素分析
    ・CLカソードルミネッセンス解析

    用途例

    ・表面観察

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    【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

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    電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。

    可能な実験例

    ・SEM画像観察
    ・サンプルの電子ビーム加工
    ・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析
    ・EBSD結晶構造解析

    用途例

    ・表面観察
    ・表面加工

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    【神奈川】LC/MS 高速液体クロマトグラフ質量分析装置

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    液状化合物の元素・質量分析に活用できます。液体試料の化学的特性を容易に分析することができるので、化学素材・中間素材製品などの化学的な分析・評価に活用できます。

    可能な実験例

    ・溶液成分の分析
    など

    用途例

    ・化学素材、バイオ素材などの分析・評価

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    【神奈川】SPM-E-sweep 走査型プローブ顕微鏡 (環境制御型SPM)

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    接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。 測定環境を真空に引いたり、加熱、冷却することがでます。 また、特殊なプローブを用意することにより、摩擦力や磁気マップなどを測定可能です。

    可能な実験例

    ・微細加工の実態状況や不良分析
    ・化合物の状態分析/評価
    ・微小形状測定、表面粗さ測定
    など

    用途例

    ・室温、大気圧下での形状測定
    ・接触または非接触測定

    測定チャンバー内を真空に引いたり、試料台を冷却、加熱して測定することが可能です。

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