SPM-Nanocute 走査型プローブ顕微鏡 (汎用型SPM)

接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。

XY100㎛ステージ(Z15㎛)またはXY20㎛ステージ(Z1.5㎛)をセレクト。
分解能 : 水平0.2nm、垂直0.01nm
資料サイズ : 最大φ35mm
　　　　　　厚み10mm未満

・微細加工の実態状況や不良分析
・化合物の状態分析/評価
微小形状測定、表面粗さ測定
など

・室温、大気圧下での形状測定
・接触または非接触測定

立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)
プローブ : 自己検知型(DFM) 4,950\/1本(参考価格、センター在庫品融通)。
　　　　　　光てこ 　　　　 3,500\/1本(参考価格,センター在庫品融通)
光てこプローブは、利用者所有品の持ち込み利用可能です。