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| 概要 | 接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。 |
|---|---|
| 詳細・スペック | XY100㎛ステージ(Z15㎛)またはXY20㎛ステージ(Z1.5㎛)をセレクト。 分解能 : 水平0.2nm、垂直0.01nm 資料サイズ : 最大φ35mm 厚み10mm未満 |
| 可能な実験例 | ・微細加工の実態状況や不良分析 ・化合物の状態分析/評価 微小形状測定、表面粗さ測定 など |
| 用途例 | ・室温、大気圧下での形状測定 ・接触または非接触測定 |
| 備考 | 立会料 : 1,500\/1時間あたり (立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。) プローブ : 自己検知型(DFM) 4,950\/1本(参考価格、センター在庫品融通)。 光てこ 3,500\/1本(参考価格,センター在庫品融通) 光てこプローブは、利用者所有品の持ち込み利用可能です。 |
| キーワード | AFM DFM 自己検知型プローブ(DFMのみ) |
| 分野 | ナノ・マイクロ科学 |
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