機器訪問利用

神奈川県

【神奈川】SPM-Nanocute 走査型プローブ顕微鏡 (汎用型SPM)

概要

接触または非接触(DFMのみ)により微小形状を測定することができる測定器です。
#AFM #DFM #自己検知型プローブ(DFMのみ)

詳細・スペック

実験設備

SPM-Nanocute 走査型プローブ顕微鏡 (汎用型SPM)

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

XY100㎛ステージ(Z15㎛)またはXY20㎛ステージ(Z1.5㎛)をセレクト。

分解能 : 水平0.2nm、垂直0.01nm

資料サイズ : 最大φ35mm

      厚み10mm未満

可能な実験例

・微細加工の実態状況や不良分析

・化合物の状態分析/評価

微小形状測定、表面粗さ測定

など

利用可能時間
備考

平日 9:30~16:30(年末年始や臨時休業を除く)

立会料 : 1,500\/1時間あたり

(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

プローブ : 自己検知型(DFM) 4,950\/1本(参考価格、センター在庫品融通)。

      光てこ      3,500\/1本(参考価格,センター在庫品融通)

光てこプローブは、利用者所有品の持ち込み利用可能です。

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