【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

詳細・スペック

実験設備

FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

FIB イオン源 : Ga液体イオン源

倍率 : ×30,×100～300,000

分解能 : 5nm(30kV時)

SEM

倍率 : ×20～×1,000,000

分解能 : 1.2nm(1kV時GB-mode)

1.0nm(15kV時)

加工形状 : 矩形、ライン、スポット

オプション

EDS

EBSD

可能な実験例

・SEM画像観察

・サンプルの電子ビーム加工

・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析

・EBSD結晶構造解析

利用可能時間

備考

平日 9:30～16:30（年末年始や臨時休業を除く）

立会料 : 1,500\/1時間あたり

(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

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