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クリーンルーム（クラス1000～10000）や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。
機器の持ち込み 可能 外部者の居室の有 ラボのWi-Fi利用不可 駐車場利用可能
・半導体 ・成膜
様々な形状の基盤への基板前処理（洗浄） ⇒ ディップコーター ⇒ 乾燥といった一連の工程（部分工程）を利用できる施設を提供しています。ディップコーティング、スピンコーティング、UVオゾン洗浄表面改質装置などを完備しています。
・機器の持ち込み可 ・廃液処理可
薄膜コーティング 薄膜作製前処理 薄膜測定 薄膜試作
東京都
