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様々な形状の基盤への基板前処理（洗浄） ⇒ ディップコーター ⇒ 乾燥といった一連の工程（部分工程）を利用できる施設を提供しています。ディップコーティング、スピンコーティング、UVオゾン洗浄表面改質装置などを完備しています。
・機器の持ち込み可 ・廃液処理可
薄膜コーティング 薄膜作製前処理 薄膜測定 薄膜試作
ウオークインチャンバー内の温度、湿度を独立に制御し、温湿度環境をプログラマブルに制御できる部屋です。 長時間に渡って一定の温湿度を保ったり、温湿度サイクルを印可する環境試験を行うことができます。
・製品/試作機などの周囲環境評価 ・エージング など
・モニター設置環境試験 ・機器の温度上昇試験 ・耐湿度試験 ・環境が人に及ぼす影響評価 などの性能試験や信頼性評価試験に利用できます。
PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。 半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。
・プリント版パターン成型 ・微小溝加工 など
・試作基板の作成 ・マイクロチャネル成型 など
神奈川県
