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機器訪問利用

XRD 多目的X線回折装置

神奈川県

型番:SmartLab

料金

¥3,900 /時間 

※別途、サービス料がかかります。
※サービスには、システム利用および損害賠償保険が含まれます。
※取引条件によって、料金が変わります。

概要

半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。

詳細・スペック

最大定格出力 : 9kW(45kW,200mA)
検出器 : 0次元シンチレーションカウンター
    1次元D/tex Ultra
2次元PILATUS

可能な実験例

・薄膜の反射率測定
・薄膜膜厚測定
・液体含有物の粒径測定
・ゲルの空孔分布
・BB法
・PB法
・Inplane測定
など

用途例

・残留応力測定
・結晶成分分析
など

備考

立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

キャピラリーの用意はありません。

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