機器訪問利用

神奈川県

【神奈川】XRD 多目的X線回折装置

概要

半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。
#X線回折装置 #薄膜測定 #結晶構造解析

詳細・スペック

実験設備

XRD 多目的X線回折装置

その他の設備

駐車場/Wi-Fi

詳細・スペック

最大定格出力 : 9kW(45kW,200mA)

検出器 : 0次元シンチレーションカウンター

    1次元D/tex Ultra

2次元PILATUS

可能な実験例

・薄膜の反射率測定

・薄膜膜厚測定

・液体含有物の粒径測定

・ゲルの空孔分布

・BB法

・PB法

・Inplane測定

など

利用可能時間
備考

平日 9:30~16:30(年末年始や臨時休業を除く)

立会料 : 1,500\/1時間あたり

(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

キャピラリーの用意はありません。

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