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機器訪問利用

Ic pin 神奈川県

【神奈川】XRD 多目的X線回折装置

概要

半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。
#X線回折装置 #薄膜測定 #結晶構造解析

詳細・スペック

実験設備
XRD 多目的X線回折装置
その他の設備
駐車場/Wi-Fi
詳細・スペック
最大定格出力 : 9kW(45kW,200mA)
検出器 : 0次元シンチレーションカウンター
    1次元D/tex Ultra
2次元PILATUS
可能な実験例
・薄膜の反射率測定
・薄膜膜厚測定
・液体含有物の粒径測定
・ゲルの空孔分布
・BB法
・PB法
・Inplane測定
など
場所・アクセス
利用可能時間
備考
川崎市多摩区三田2-3227 明治大学地域産学連携研究センター
平日 9:30~16:30(年末年始や臨時休業を除く)
立会料 : 1,500\/1時間あたり
(立会とは、装置操作方法説明などのサポートです。必要な場合に選択ください。)

キャピラリーの用意はありません。
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