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10000倍程度まで拡大可能な電子顕微鏡(SEM)で、表面形状観察を行います。元素組成の定性・定量分析(EDX)が可能で、金属・電気部品、食品・医薬品などの材料確認や異物・不良解析に利用可能です。
薄膜・金属等の材料研究、細胞や組織などの生物サンプルの解析など
電子イメージング
例)ラット大脳皮質初代細胞のを3次元培養したスフェロイド(細胞凝集体)を観察。更に3D-SIM超解像度イメージングシステムによる解析結果と合わせることにより、スフェロイドの実際の3次元構造を確認。
EELS, EDSを付随したSTEM(分解能:0.08nm)による局所構造の観察