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フラッシュランプアニール装置を利用することができるラボです。太陽電池用の多結晶Si 膜の形成を行うことができます。
無機材料合成から評価・分析まで幅広い実験に対応したラボです。回転リングディスク電極による試料評価の受託分析も可能です。XPS,XRD,FT-IR,GC,電気炉などの分析、実験装置を多数そろえています。
居室の有
ラボ駐車場利用可能
回転リングディスク電極による試料評価の受託分析も可能です
・無機材料合成
・物性評価
・回転リングディスク電極による試料評価
クリーンルーム(クラス1000~10000)や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。