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電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。
・SEM画像観察 ・サンプルの電子ビーム加工 ・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析 ・EBSD結晶構造解析
・表面観察 ・表面加工
