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紫外領域と可視領域の光の領域を用いて溶液の吸収スペクトルを測定し定量分析います。
電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子(後方散乱電子、BSE)、透過電子、X線、カソードルミネッセンス(蛍光)、内部起電力等を検出する事で対象を観察出来る装置です。
化合物の同定・定量分析や、結晶構造の解析を行うことができます。
半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。
・薄膜の反射率測定 ・薄膜膜厚測定 ・液体含有物の粒径測定 ・ゲルの空孔分布 ・BB法 ・PB法 ・Inplane測定 など
・残留応力測定 ・結晶成分分析 など